Ebiet berkahwin dengan Koespudji Rahayu Sugianto (atau lebih dikenali sebagai Yayuk Sugianto, kakak kepada penyanyi Iis Sugianto) pada 4 Februari 1982, lalu dikurniai 4 anak, 3 lelaki dan 1 perempuan:

• Abietyasakti "Abie" Ksatria Kinasih (lahir 8 Desember 1982)
• Aderaprabu "Dera" Lantip Trengginas (lahir 6 Januari 1986)
• Byatriasa "Yayas" Pakarti Linuwih (lahir 6 April [[1987)
• Segara "Dega" Banyu Bening (lahir 11 Desember 1989).

Mereka semua menetap di kawasan Cianjur, Jagakarsa, Jakarta Selatan.

Anak sulung Ebiet, Abie juga memiliki bakat muzik, dan sering mewakili Ebiet dalam memeriksa sound system menjelang persembahan ayahnya.

Ebiet juga seorang penggemar golf, namun sejak terjadinya bencana tsunami pada tahun 2004, beliau tiada lagi main golf.